氣相法(lGas phase method)制備石墨烯工藝,是指在氣態(tài)或者等離子態(tài)中,直接生長石墨烯的方法,包括化學(xué)氣相沉積法、電弧放電法等。氣相法采用管式結(jié)構(gòu),通過有機(jī)氣體等高溫等離子分解,在催化基體上生長為石墨烯材料。微波氣相法(microwave plasma vapor deposition)采用微波為能源的管式爐結(jié)構(gòu),通過微波激發(fā)等離子體形成高溫?zé)峤獬练e和生長條件,實(shí)現(xiàn)石墨烯制備的方法。
工藝試驗(yàn)
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